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电子工艺

p2b-半导体运用流程

公布工夫:2017-06-28作者:-澳门金沙场4136浏览量:206-www金沙3777.com

典范运用A:化学品过滤

正在半导体制造中化学品过滤,重要有两个方面的应战,起首是过滤质料对化学品的适应能力,不得当的质料挑选,会形成严重的质量事故,而用于半导体的化学品多为强酸、强碱和一些腐蚀性极强的物料,以是包孕过滤容器在内,多运用PVDF(聚偏氟乙烯)和PTFE(聚四氟乙烯)质料。别的一个方面就是对精度的应战也到达了极限,0.04/0.1/0.22-金沙www4136comμm的过滤是常常被运用的,并且其去除效力要到达99.9999%,并且正在极度条件下的COD-4136金沙析出值也要掌握正在ppb品级。

因为清洁度的高要供,便正在化学品的转运的出个环节险些皆布置了过滤器,正在供应商输送物料的槽车上,正在运送的管路上;到每个运用装备的进料心,皆严厉按要求供应。

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